光氧等离子一体机，顾名思义是等离子分解废气净化器+UV光解除臭废气净化器两种设备的 结合，综合采用了等离子废气净化器和紫外光触媒除臭废气净化器两种设备的优点组合而成，利用等离子分解技术和UV紫外光解技术相结合，对废气和臭气进行 协同净化处理。
（1）废气和恶臭气体进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波 地照射，瞬间产生光解反应，打开废气和臭味污染物分子的化学键，破坏其分子结构和核酸；利用紫外光波分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧，使呈游离状态的污染物分子与臭氧氧化结合成小分子或低害的化合物。如CO2、H2O等。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。
（2）废气和恶臭气体经过等离子体电场区，在纳秒级时间范围内，等离子猛烈轰击废气和臭味等污染物分子，产生裂变分解反应，产生、、量的各种活性自由基、电子、离子等，同时产生大量臭氧、原子氧、生态氧等混合气体，进行一系列复杂的分化裂解和氧化还原反应；
（3）UV紫外光解与等离子分解如此 协同地产生一系列光解和分解反应，经过复合式多级净化后从而达标排放！既能 地净化治理各种废气，又能 干净地去除各种恶臭味道。
低温等离子废气处理的原理为：低温等离子设备在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子 物质，或使物质转变成 或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，低温等离子设备适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得。作为环境污染处理中的一项具有优势的高，等离子体受到了化工废气治理方面的高度评价。
